低溫等離子法
低溫等離子法利用等離子體內部產生富含極高化學活性的特色，運用高壓放電設備在放電時產生高能電子和離子，將空氣中的氧分子進行分離，氧分子吸收能量后產生游離態的氧離子，有機廢氣污染物與游離氧基團產生反應，終究轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
此種辦法具有適用范圍廣，凈化效率高，設備占地面積小特色，適用于其他辦法較難處理的有機廢氣體；但由于選用高壓放電設備，在含水、含塵、有機廢氣濃度較高的密閉空間易產生爆炸，存在安全隱患，因此約束了其運用。
焚燒法
焚燒法只在揮發性有機物在高溫及空氣足夠的條件下進行完全焚燒，分解為CO2和H2O。焚燒法適用于各類有機廢氣，可以分為直接焚燒、熱力焚燒和催化焚燒。
排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般選用直接焚燒法，該辦法將VOCs廢氣作為燃料進行焚燒，焚燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達到95％-99％。
熱力焚燒法適合于處理濃度在1000-5000 mg/m3 的廢氣，選用熱力焚燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要憑借其他燃料或助燃氣體，熱力焚燒所需的溫度較直接焚燒低，大約為540-820℃。焚燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，焚燒后產生的廢氣直接外排會導致二次污染。
