廢氣凈化中的吸附過程根據吸附作用力的性質分為物理吸附和化學吸附兩類。廢氣處理設備中吸附方法的處理效果較為明顯。
(1)物理吸附引起物理吸附的作用力是吸附劑和吸附質之間的分子引力，分子引力又稱為范德華力，因此物理吸附亦稱為范德華吸附。這一類吸附的特征是吸附質與吸附劑不發生化學反應，無選擇性，吸附劑本身性質在吸附過程中不變化，吸附過程是可逆的。物理吸附是一種放熱過程，釋放出的熱量稱為吸附熱。韌理吸附的吸附熱相當于被吸附氣體的升華熱，或凝結熱，一般為20kj／mol左右。當系統溫度升高或被吸附氣體的壓力下降時，被吸附氣體將從固體表面逸出，這個過程是吸附的逆過程，稱為解吸。物理吸附可以是單分子層吸附，也可以是多分子層吸附。多分子層吸附是指吸附劑表面吸附了第一層分子之后，由于表面的氣體分子引力還可以吸附第二層吸附質分子，以此類推可繼續發生多分子層吸附。低壓時，一般為單分子層吸附，當吸附質的氣壓增大時，吸附層就會變成多分子層。
(2)化學吸附又稱為活性吸附，這類吸附是由于吸附劑表面與吸附質分子間的化學鍵力引起的，吸附的結果是吸附劑表面生成一種結合物。因此，化學吸附具有較強的選擇性，只能吸附參與化學反應的氣體組分，例如鎢和鎳可以化學吸附H2，而H2卻不能被鋁和銅化學吸附。化學吸附的吸附熱比物理吸附熱大，一般都高于42kj/mol，相當于化學反應熱。化學吸附是不可逆的，而且總是單分子層吸附。
應當指出，物理吸附和化學吸附之間沒有嚴格的界限，往往相伴發生。同一種物質在低溫下，可能是進行物理吸附，而在較高溫度下，就可能產生化學吸附。在氣態污染物的吸附凈化過程中，常常是兩種吸附綜合作用的結果，足是在某種特定條件下，以某一種吸附過程為主而已。
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